安费诺传感器-Amphenol Sensors ꄲ 所有品牌产品 ꄲ NovaSensor ꄲ NovaSensor P1905 背面绝压传感器芯片

P1905 背压压阻式传感器芯片概述

P1905 压阻式传感器芯片专为在侵蚀性（恶劣）介质中进行绝对压力测量而设计。该芯片通过将硅帽与器件晶圆顶面进行气密性低应力键合，形成了一个参考真空腔室。通过从芯片背面施加压力，P1905 传感器芯片避免了施加介质与顶面传感器电路的直接接触，这使得 P1905 芯片能够测量侵蚀性液体和气体中的压力。凭借 NovaSensor 的 SenStable® 工艺，P1905 芯片具有卓越的长期稳定性和可重复性（典型值 < 0.1% /年）。

应用领域

汽车系统
过程控制系统
航空航天
侵蚀性介质中的压力测量

产品特性

兼容恶劣介质
高可靠性、固态硅绝对压力传感器芯片，从腔体侧加压
推荐压力范围：0…100 PSIA 至 0…300 PSIA
芯片尺寸（长 x 宽 x 高）：1.93 mm x 1.93 mm x 1.64 mm
所有焊盘位于同一侧，便于应用封装
可提供其他压力范围

传感器参数表

参数类别	参数名称	数值	单位	备注
通用参数	压力范围	0...100 至 0...300	PSIA
	最大过压	600	PSIA
	背面爆破压力	>4000	PSI	备注6
电气参数 @ 25°C	激励 (DC)	1.5	mA, Volt	最大10VDC
	电桥电阻	5000 ± 20%	Ω
环境参数	工作温度范围	-40° 至 150°	°C	备注2
	存储温度范围	-55° 至 160°	°C
机械参数	尺寸	1.93 x 1.93 x 1.64	mm	长 x 宽 x 高
	焊盘尺寸	0.10 x 0.10	mm	长 x 宽
	介质兼容性	与硅和硼硅玻璃兼容的介质。
性能参数 (1)	零点偏移	± 10	mV/V
	灵敏度	0.107 ± 0.030	mV/V/psi	备注3
	压力线性度	± 0.2	% 量程	备注4
	压力迟滞	± 10	µV/V	备注5, 6
	零点温度系数	0.5 ± 3	µV/V/°C	备注5, 6
	电阻温度系数	0.27	%/°C	备注5, 6
	灵敏度温度系数	-0.19	%/°C	备注5, 6
	零点热迟滞	± 25	µV/V	备注5, 6

备注：

除非另有说明，所有数值均在 25°C 和 5 V 激励下测量。使用来自每个晶圆的样品来验证电桥电阻、偏移、量程、线性度以及芯片在 0°C 至 70°C 温度范围内的性能。
使用 P1905 芯片的传感器的背面爆破压力和工作温度可能低于芯片的相应参数。
典型量程在 300 psi 时为 160 mV。
最佳拟合直线。
在 0°C 和 70°C 之间。
典型值。

[产品说明书]

[免费软件下载——压力单位转换] Amphenol Pressure Units Conversion