NovaSensor P1905背面绝压传感器芯片是一种压阻式传感器芯片,旨在用于腐蚀性(恶劣)介质中的绝压测量。该芯片具有一个参考真空室,该真空室通过硅罩与设备晶圆顶部的低应力密接形成。通过从芯片背面施加压力,P1905传感器芯片消除了顶部传感器电路与应用介质的直接接触,这使得P1905芯片能够测量腐蚀性液体和气体中的压力。采用NovaSensor的SenStable®工艺,P1905芯片具有优异的长期稳定性和重复性(典型值<0.1%/年)。
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NovaSensor P1905 背面绝压传感器芯片
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信号检测压力