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novasensor pt1907 pressure and temperature sensor die with and without pedestal

 

PT1907-背压式压力温度传感器
 

NovaSensor PT1907绝压型压阻传感器芯片,设计用于在恶劣介质中进行压力和温度的组合测量,同时温度也用于压力传感器的稳定补偿校准该传感器使用过程中,由于芯片的背面施加压力,避免了传感器电路顶侧所施加介质之间的直接接触。这使PT1907能够方便地直接接触并测量腐蚀性液体和气体中的压力和温度。

与一般的绝压型硅阻压力传感器相比,该产品压力芯片模型的顶部用硅片通过硅硅键合的方式制成的真空参考腔用于绝对压力测量,而压力介质接触的为传感器的钝面腔体通过NovaSensorSenStable®工艺PT1907还具有出色的长期稳定性和可重复性(典型值<0.1/年)

集成的片上温度传感器可实现温度的高精度测量并提高压力测量的精度。

 

应用领域
 
  • 汽车系统
  • 过程控制系统
  • 航天
  • 腐蚀性介质中的压力和温度测量
产品特性
 
  • 气液复杂测量介质兼容性
  • 从背面(型腔)加压的高度可靠的固态硅压力传感器芯片
  • 压力范围:601201803004506001000 PSIA
  • 温度范围:-40°C150°C
  • 片上温度传感器
  • 模具尺寸(长xx高):1.9毫米x 1.9毫米x 1.6毫米(带玻璃),2.0毫米x 2.0毫米x 0.8毫米(不带玻璃)
  • 灵活的焊盘配置允许仅在芯片的一侧或两侧进行引线键合

 

产品规格
 

压力传感器规格

特性

参数

单位

压力范围

60、120、180、300、450、600、1000

PSIA

 

最大超压

2倍

 

额定压力

背面爆破压力

10倍

PSI

2,6

> 6000

电气@ 25°C,
除非另有说明

参数

单位

激励(直流)

1个

 

5

伏特

最大10VDC

电桥输入输出阻值

5,000±20%

Ω

 

环境

参数

单位

工作温度范围

-40至150

摄氏

2

储存温度范围

-55至160

摄氏

 

机械的

参数

单位

方面

1.9 x 1.9 x 1.6

mm带玻璃

8

2.0 x 2.0 x 0.8

mm不带玻璃

焊盘尺寸

0.10 x 0.10

长×宽

9

媒体相容性

硅和硼硅酸盐玻璃  

 

 

 

 

  

 

 

 

压力传感器性能参数(1)

参数

单位

零偏移

±10

毫伏/伏

 

FSO

160±45

毫伏

3

压力线性度

±0.2

%跨度

4、7

压力滞后

±10

微伏/伏

5、7

温度系数。零

±5

µV / V /°C

5、7

温度系数。抵抗之

0.27

%°C

5、7

温度系数。敏感度

-0.19

%°C

5、7

零热滞

±25

微伏/伏

5、7

 

 

 

 

温度传感器规格

一般的

参数

单位

温度范围

-40至150

摄氏

 

电的

参数

单位

励磁(直流)

10-100

微安

13

性能参数(10)

参数

单位

0.625

V

7、11

灵敏度

-2.15

毫伏/°C

7、12

FSO

405

毫伏

7、12

线性度

±0.1

7、12

零压力灵敏度

±10

µV / PSI

7

 

注:

1. 除非另有说明,否则所有值均在25ºC5V激励下测量。每个晶片的样品用于验证0ºC70ºC温度范围内的电桥电阻,失调,跨度,线性度和芯片性能。

2. 使用PT1907模具的传感器的背面爆破压力和工作温度可以低于模具的相应参数。

3. 300psi时,典型跨度等于160mV

4. 最佳拟合直线。

5. 0ºC70ºC之间。

6. 60300psi模具的额定压力的10倍,4501000psi模具的> 6000psi的。

7. 典型值。

8. 高压(> 300psi)的模具没有玻璃基座。

9. 焊盘。

10. 除非另有说明,否则所有值均在25ºC20μA激励下测得。

11. 25ºC100%探测到零输出。

12. 测试每个晶片的样品,以验证0ºC70ºC温度范围内的灵敏度,FSO和线性。

13. 建议激励10-25μA

 

说明书下载
 

NovaSensor PT1907 Pressure and Temperature Sensor Die

[产品应用文档]

PT1907

PT1907 - 集成温度传感器的复杂介质型背压式硅阻压力传感器

  • 汽车应用
    发动机管理;传动系统
  • 重型设备应用
    发动机管理;传动系统
  • 商业航空
    机体和航空电子设备:温度/压力;燃油系统:压力/气体/超声液位/位置检测
  • 电子产品应用
    工业;汽车
  • 工业应用
    仪器仪表;通用型
  • 信号检测
    压力
  • 压力特性
    高压;中压