NovaSensor P1301 低压芯片是一款压阻式传感元件,尺寸为 2.7mm x 3.2mm (0.11英寸 x 0.13英寸)。当采用恒压或恒流激励时,它能产生与输入压力成正比的毫伏级输出。该芯片采用 NovaSensor 的 SenStable® 工艺制造,具有出色的长期稳定性和重复性。该芯片可用于差压和表压传感器。
特性
- 高可靠性
- 可用版本:差压 / 表压
- 标准压力范围:1 psi (6.9kPa), 2.5psi (17.2kPa), 5psi (34.5kPa)
- 非线性度:<0.25%, <0.5% FSO
- 过压极限:15psi
应用
- 过程控制系统
- 气动控制
- 生物医学仪器
- 液压系统

芯片尺寸: 2.7mm x 3.2mm
(0.10英寸 x 0.12英寸)
产品参数规格表
| 参数类别 | 参数名称 | 值 | 单位 | 备注/条件 |
|---|---|---|---|---|
| 通用规格 | 压力范围 | 1, 2.5, 5 | psi | 对应 6.9, 17.2, 34.5 kPa |
| 电气特性 @ 25°C | 激励 | 1.5 | mA | 最大直流电压 10V |
| 输入阻抗 | 5000 ±20% | Ω | ||
| 输出阻抗 | 5000 ±20% | Ω | ||
| 环境特性 | 工作温度范围 | -40 到 125 | °C | (-40°F 到 257°F) |
| 存储温度 (未切割) | -55 到 150 | °C | (-55°F 到 302°F) | |
| 机械特性 | 重量 | 0.04 | g | (0.00008 磅) |
| 介质兼容性 | 清洁干燥空气、非腐蚀性气体 | |||
| 性能参数 (B) | 零点偏移 | ±75 | mV | 备注1 |
| 满量程输出 (FSO) | 80 到 120 | mV | 1psi 量程 | |
| 满量程输出 (FSO) | 140 到 300 | mV | 2.5, 5psi 量程 | |
| 线性度 (5psi) | ±0.25 | %FSO | 备注2 | |
| 线性度 (1, 2.5psi) | ±0.5 | %FSO | 备注2 | |
| 压力迟滞 | ±0.1 | %FSO | ||
| 零点温度系数 | ±30 | μV/V/°C | 备注3 | |
| 电阻温度系数 | 0.36 | %/°C | 备注3 | |
| 灵敏度温度系数 | -0.21 | %FSO/°C | 备注3 | |
| 零点热迟滞 | 0.25 | %FSO | 备注3,7 |
备注:
-
对于差压或表压传感器,零点为 0 kPaG。
-
基于最佳拟合直线。
-
0°C 至 70°C (82°F 至 158°F) 范围内的典型值。
-
(表中未直接引用)一年内的典型值。
-
(表中未直接引用)所有数值均在 25°C (77°F) 和 1mA 激励下测量,除非另有说明。
-
(表中未直接引用)TCS 61445 – 295% FSO / °C。
-
对于 1psi 量程,为零点热迟滞为 0.5% FSO。
运输与操作
所有晶圆均采用防护容器运输。晶圆被锯切在带环的粘性薄膜上。所有晶圆均经过电学测试和目视检查。从每个晶圆上取样以验证偏移、满量程输出和线性度。电学不合格和目视不合格的芯片会用墨点标记。每个晶圆将包含以下信息:批号、晶圆编号、器件编号和合格芯片数量。
保修
NovaSensor 保证其产品自发货之日起 12 个月内不存在材料和工艺缺陷。对于未遭受误用的产品,我们将予以维修或更换。NovaSensor 保留随时更改本文档所述任何产品的权利,恕不另行通知。NovaSensor 不对其产品是否适用于任何特定应用作出任何保证、陈述或担保。NovaSensor 不承担因任何产品或电路的应用或使用而产生的任何责任,并特别声明不承担所有责任,包括但不限于间接或附带损害。前述保证是排他性的,并取代所有其他书面、口头、明示或法定的保证。不适用任何关于适销性或特定用途适用性的法定默示保证。
订购信息
零件号 描述
- 51626 1 psi 差压/表压, 63密耳玻璃
- 51315 2.5 psi 差压/表压, 63密耳玻璃
- 51446 2.5 psi 差压/表压, 93密耳玻璃
- 51316 5 psi 差压/表压, 63密耳玻璃
- 51447 5 psi 差压/表压, 93密耳玻璃
最低起订量:约 400 颗芯片(1片晶圆)
[产品说明书]
NovaSensor P1301低压 硅压力传感器芯片
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重症监护呼吸睡眠;医疗器械
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楼宇自动化应用滤网监测;管道测量;楼宇压力测量
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病人监护医疗器械;呼吸睡眠
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工业应用仪器仪表;通用型
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医用传感器病人监护;重症监护;呼吸护理;医疗仪器
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信号检测压力;超低压力
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电子产品应用消费;工业
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HVAC暖通风通风管道监测;过滤器监测
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压力特性低压

